教師簡介

一、基本情況：

1994.09 - 1998.06 蘇州大學，物理教育專業，本科；

1998.09 - 2001.06 蘇州大學，凝聚态物理學，碩士，導師：許裕生教授；

2001.09–2005.03 中科院上海微系統與信息技術研究所，微電子學與固體電子學，博士，

                  導師：鄒世昌院士，張峰研究員

2005.03– 至今   bv伟德官方网站，副教授

2012.02– 2012.11 德國于利希研究中心，訪問學者，合作導師：趙清太教授

二、主要研究領域及成果：

主要從事半導體薄膜材料與器件研究工作，涉及力敏傳感器、溫差電器件等薄膜材料制備與性能分析等。  

三、代表性科研成果：

1.Xinli Cheng, Hong Liu, Feng Zhang. Relaxed SiGe-on-insulator with high Ge fraction obtained by oxidation of SiGe/Si-on-insulator with hydrogen ions implantation. Applied Surface Science. 2007.253:4472-4476.

2. Xinli Cheng, Zhijun Chen, Yongjin Wang, Bo Jin,Feng Zhang, Shichang Zou. Fabrication of SGOI material by oxidation of an epitaxial SiGe layer on an SOI wafer with H ions implantation. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2005,234: 243-248

3. Xinli Cheng, Zhilang Lin, Yongjin Wang, HaiboXiao,Feng Zhang, Shichang Zou, Hydrogen annealing effects on epitaxy of SOI wafer, Materials Letters, 2005,59: 361-365.

4.程新利，唐運海，沈嬌豔，王冰，秦長發，潘濤等.微型動态滲透水壓力傳感器，2016.6授權，ZL201310653653.5

5.程新利，唐運海，沈嬌豔，王冰，秦長發，潘濤等.壓力傳感器敏感元件的制造工藝，2016.5授權ZL 201310613099.8

6.劉宏，劉偉祎，程新利，章于道.一種電子皮膚生物燃料電池的制備方法及生物燃料電池，2021.7授權，ZL202011117959.5.

7.王冰，姜君蕾，毛超民，程新利，郭鵬等.2017年中國儀器儀表學會科學技術獎三等獎：用于建築物健康診斷風載荷壓力傳感器預警系統.

8.王文襄，王冰，陳立國，趙玉龍，趙立波，程新利，毛超民.2015年江蘇省科學技術獎三等獎：特種/極端環境高動态MEMS壓力傳感器研發及産業化.

9.王文襄，王冰，毛超民，潘濤，程新利，孫晉玲.2013年江蘇省科學技術獎三等獎：MEMS技術半導體矽壓阻高頻、微型、高溫系列動态力敏傳感器.